气体质量流量计
cms9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500高可靠性气体质量
流量计，使用了山武公司新近开发的微流量传感器，这种传感器
是感热式流量传感单元。
超小型结构、高精度传感器、高密度集成电路设计技术的结合使
这种仪表具有精度高、测量范围大，且成本低的优点。
cms9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500
型号
cms9500 cms0002 cms0005 cms0020 cms0050 cms0200 cms0500
项目
适用气体树脂型：
空气、氮气、氩气、二氧化碳(co2)
sus/sus316型:
空气、氮气、氩气、二氧化碳(co2)、
氧气、城市煤气13a(lng)、甲烷、
丙烷、丁烷
sus/sus316型：
空气、氮气、氩气、二氧化碳(co2)、
氧气、城市煤气13a(lng)、甲烷、
丙烷、丁烷
气体必须不含腐蚀性气体（例：氯、硫、酸等）。气体必须干燥、清洁，不含粉尘和油雾
流量范围（注1）
0～500ml/min(标状) 0～2l/min(标状) 0～5l/min(标状) 0～20l/min(标状) 0～50l/min(标状)  0～200l/min(标状) 0～500l/min(标状)
标准状态指：一个大气压、20℃时
各种气体
空气/氮气500ml/min 2l/min 5l/min 20l/min 50l/min 200l/min 500l/min
测量上限
氧气500ml/min 2l/min 5l/min 20l/min 50l/min 200l/min 500l/min
氩气500ml/min 2l/min 5l/min 20l/min 50l/min 200l/min 500l/min
（1atm，20℃时） 二氧化碳250ml/min 1l/min 3.3l/min 10l/min 25l/min 100l/min 250l/min
城市煤气13a (注3) 400ml/min 1.5l/min 4.5l/min 15l/min 40l/min 150l/min 400l/min
甲烷500ml/min 2l/min 5l/min 20l/min 50l/min 200l/min 500l/min
丙烷140ml/min 0.5l/min 1.7l/min 5l/min 14l/min 50l/min 140l/min
丁烷100ml/min 0.4l/min 1.25l/min 5l/min 12l/min 50l/min 120l/min
测量精度
树脂型： 树脂型：
(20℃，1atm时）
0.2 x＜4l/min 0.5 x＜5l/min
sus/sus316型: sus/sus316型: sus/sus316型:
±1%fs±1位±1%fs±1位
sus/sus316型: sus/sus316型：
5 x＜100ml/min 0.02 x＜0.4l/min 0.05 x＜1l/min
4 x 20l/min 5 x 50l/min
2 x＜20l/min 5 x＜50l/min
±1%fs±1位  ±1%fs±1位  ±1%fs±1位 
±5%rd±1位±5%rd±1位
±1%fs±1位±1%fs±1位
100 x 500ml/min 0.4 x 2l/min 1 x 5l/min
sus/sus316型： sus/sus316型：
20 x 200l/min 50 x 500l/min
±3%rd±1位 ±3%rd±1位
0.2 x＜2l/min 0.5 x＜5l/min
±3%rd±1位±3%rd±1位
±1%fs±1位±1%fs±1位
2 x 20l/min 5 x 50l/min
±3%rd±1位 ±3%rd±1位
Zui小显示值1ml/min 0.01l/min 0.1l/min 1l/min
显示分辨率1ml/min 0.01l/min 0.1l/min 1l/min
操作温度0～50℃(树脂型：保证精度温度范围10～35℃）
存储温度-20～70℃
操作湿度10～90%rh(无结露)
接管尺寸树脂型和sus型:rc1/4 sus型: rc1/2
sus316型:9/16-18unf，rc1/4，1/4外套螺母，1/4vcr（依型号）
sus316型: 3/4-16unf, rc1/2, 1/2外套螺母,
3/8vcr (依型号)
本体材质
sus型：sus303和sus316
树脂型: pbt (聚丁烯酯)
sus316型：sus316
sus型: sus303和sus316
sus316型: sus316
机壳材料
sus/sus316型：聚碳酸脂
树脂型：abs
操作压力
sus/sus316型：-0.07～＋1.0mpa 　
耐压
sus/sus316型：1.5mpa
安装位置水平安装。流向：左→右 　
供电电压12～24vdc
采样周期
100ms±10ms
树脂型: 100ms±20ms
100ms±10ms
sus/sus316 型: 100ms±10ms
输出信号（瞬时流量输出） 0～5vdc（允许负载阻抗大于10kω）
当输出超过测量上限时Zui大输出5.7v。
事件输出集电极开路输出：2点
事件功能瞬时流量上／下限、累计流量到设定值、反向流量切除、累计脉冲输出（仅事件2），流量信号串行输出（仅事件1）
外部接点输入用于累计流量复位：1点（无电压接点输入）
电气连接通过专用连接器（另购）
显示4位7段led显示，瞬时流量/累计流量切换显示
重量sus/sus316型：约 800g 树脂型：约280g 　sus/sus316型：
sus/sus316型：约 800g 约 1400g
sus/sus316型:
空气、氮气、氩气、二氧化碳(co2)、
城市煤气13a(lng)、甲烷、丙烷、
丁烷
（注2）
±3%rd±1位
·使用说明书资料号：cp-sp-1114e
注(1)：流量范围以空气流量标定。该产品具有切换气体种类的功能，用户可通过按键选择被测气体种类，该仪表输出信号(0～5v)的标尺也可改变。
注(2)：在表中没有列出的气体种类有些也可测量，通过改变气体的导热系数（cf）实现，详细信息请向山武公司询问。
注(3)：城市煤气13a（lng）的成分为含甲烷（ch4）88%，如果天然气成分与13a不同，请向山武公司询问。
sus/sus316型：聚碳酸脂
树脂型：0～0.5mpa
sus/sus316型：-0.07～＋1.0mpa
树脂型：0.7mpa
sus/sus316型：1.5mpa
sus/sus316型：1.5mpa
sus/sus316型：聚碳酸脂
sus/sus316型：-0.07～＋1.0mpa
sus型：sus303和sus316
sus316型：sus316
约 2000g
sus/sus316型：
tokyo japan
37 91
69.1
32
17
(48.7)
9/16-18unf 连接型 (标准)
91
69.1
32
made in japan
rc1/4 连接型 (可选)
23.5 23.5
(138)
hex21
made in japan
(142.4)
(25.7) (25.7)
hex9/16
1/4外套螺母连接型（可选）
made in japan
(138.8)
(23.9) (23.9)
1/4vcr 连接型 (可选)
made in japan
37
17
(48.7)
tokyo japan
50 98.6
82
45
23
3/4-16unf 连接型 (标准)
98.6
82.1
rc1/2 连接型 (可选)
25 25
(148.6)
hex26
made in japan
made in japan
(160)
(30.7) (30.7)
hex7/8
1/2外套螺母连接型（可选）
made in japan
(62)
50
23.2
45
(161.6)
(31.5) (31.5)
3/8vcr 连接型 (可选)
made in japan
29.5
59
(76)
60
98.6
16.4 16.4
96.1
(25) (25)
(31.5) (31.5)

本产品的加工定制是否，品牌是阿自倍尔，型号是CMS0200，种类是流量，材料是混合物，材料物理性质是半导体，材料晶体结构是多晶，制作工艺是集成，输出信号是模拟型，防护等级是IP65，线性度是±0.5（%F.S.），迟滞是0.04（%F.S.），重复性是±1（%F.S.），灵敏度是1，漂移是1，分辨率是1um